MGDS底座
類(lèi)別：
產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹
MGDS 底座為一體化氣體分配系統(tǒng)技術(shù)提供了一種方法，在更緊湊的氣體面板上構(gòu)建氣體輸送系統(tǒng)，利用平面密封技術(shù)。每個(gè)表面安裝 組件遵循SEMI標(biāo)準(zhǔn)?？筛鶕?jù)需求形成不同的配置形式。維護(hù)時(shí)，僅需在面板上方進(jìn)行操作，簡(jiǎn)單方便。
工作條件
工作壓力 1Mpa
工作溫度 -10 ～ 200℃
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
技術(shù)特征
漏率測(cè)試 外漏率 5X10-10Pa.m3 /sec.He，符合實(shí)際生產(chǎn)需求。
清潔 10 級(jí)潔凈間超純水清洗。
EP 工藝 內(nèi)部經(jīng)過(guò) EP 工藝處理后，內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm，滿(mǎn)足超高純度氣體系統(tǒng)要求。
安裝 滿(mǎn)足 SEMI 安裝標(biāo)準(zhǔn)。
關(guān)鍵詞：
氣體管閥件
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