MGDS氣體減壓器Um-1L
產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹
Um-1L 氣體減壓器，膜片式硬密封結(jié)構(gòu)，超低漏率；適用于超高純度氣體，半導(dǎo)體用（毒、腐）氣體，滿足一體化氣體分配系統(tǒng)的使用。具有卓越的重復(fù)性，穩(wěn)定性，靈敏度和非凡的響應(yīng)階躍功能變化。
主要部件材料
閥體 316L（VIM+VAR）
膜片 UNS N10276
閥針 316L / UNS N10276
密封墊 PCTFE / PI
手柄 6063
閥蓋 316L
工作條件
進口壓力 250psig
出口壓力 10,30,60,100psig
原壓變動 0.3psig / 20psig
流量系數(shù) 0.06/0.15HF
工作溫度 -40 ～ 60℃
內(nèi)漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
產(chǎn)品特點
適用于一體化氣體分配系統(tǒng)
每臺減壓器進行單獨的壓力測試、功能測試、氦質(zhì)譜泄漏測試和顆粒物檢測
卓越的重復(fù)性，穩(wěn)定性，靈敏度和非凡的響應(yīng)階躍功能變化
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2024-11-21
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中科艾爾
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