MGDS隔膜閥
工作壓力:150psig｜ 材質(zhì):316L /316L（VIM+VAR） | 工作溫度:-10℃~80℃
產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹
MGDS 隔膜閥，膜片式硬密封結(jié)構(gòu)，超低漏率；適用于超高純度氣體，半導(dǎo)體用（毒、腐）氣體，滿足一體化氣體分配系統(tǒng)的使用。
主要部件材料
閥體 316L /316L（VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊 PCTFE
工作條件
工作壓力 150psig
爆破壓力 450psig
流量系數(shù) 0.1/0.3HF
工作溫度 -10 ～ 80℃
內(nèi)漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
產(chǎn)品特點(diǎn)
適用于一體化氣路分配系統(tǒng)
每臺閥門進(jìn)行單獨(dú)氦質(zhì)譜泄漏測試
超長使用壽命
相關(guān)下載
2024-11-21
關(guān)鍵詞：
氣體管閥件
獲取報(bào)價(jià)
我們將在一個(gè)工作日內(nèi)與您聯(lián)系。請注意您的手機(jī)來電。
相關(guān)產(chǎn)品
中科艾爾
中科艾爾（北京）科技有限公司[原泰科愛爾（北京）科技有限公司]是專業(yè)研發(fā)、生產(chǎn)氣體管閥件的廠家。
關(guān)于我們
聯(lián)系我們
北京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)(通州)聯(lián)東商務(wù)中心大樓
瀏覽移動端
微信公眾號